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日本excimer臭氧分解裝置OZFDT型介紹
分解桌面紫外線照射設(shè)備產(chǎn)生的臭氧廢氣。
即使在沒有局部排氣設(shè)備的環(huán)境中也能對臭氧進(jìn)行解毒。
非金屬催化劑分解高濃度臭氧氣體
廢氣濃度 0.1ppm 以下
長壽命設(shè)計(jì)催化劑壽命 1 年
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臭氧用于殺菌、除臭、清洗、重整等時(shí),臭氧氣體難以排出。如果直接用完,管道和風(fēng)扇會腐蝕,很危險(xiǎn)。如果排到外面,它會擴(kuò)散,但不安全,因?yàn)榕艢饪诟浇某粞鯕怏w濃度很高。在工廠,酸廢氣用抽氣機(jī)或洗滌器處理,但在工廠外,通常用臭氧過濾器排除。
傳統(tǒng)的臭氧過濾器分解器需要大容量、成本高且占用空間大,才能在短時(shí)間內(nèi)處理高濃度臭氧氣體。為了配合小型臭氧利用裝置使用臭氧過濾器,通常在裝置內(nèi)部放置臭氧過濾器,循環(huán)直至臭氧氣體被稀釋。
本公司在半導(dǎo)體制造設(shè)備等方面積累了豐富的技術(shù)和經(jīng)驗(yàn),由于是小型臭氧過濾器,因此具有高性能,因此無需使臭氧氣體循環(huán),即可一次性排出的廢氣濃度。設(shè)備0.1ppm以下實(shí)現(xiàn)并銷售了內(nèi)置排氣扇的臭氧分解裝置。這種方法的優(yōu)點(diǎn)是不需要循環(huán)處理,縮短了整個(gè)設(shè)備的處理時(shí)間。此外,由于臭氧分解過濾器在設(shè)備外部,因此不存在臭氧過濾器中使用的活性炭和重金屬催化劑等成分導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部再污染的結(jié)構(gòu)可能性。單程臭氧消減裝置是一種超潔凈設(shè)計(jì)理念
模型 | OZFDT |
目標(biāo)設(shè)備 | 172DT |
電源 | AC100V 50 / 60Hz |
出口臭氧濃度 | 0.1ppm以下*1(本廠測量條件) |
風(fēng)管連接直徑 | 外徑φ51.5mm |
外形尺寸 | 220W x 250H x 220D 毫米 |